干式(shi)真空(kong)泵(beng)（也(ye)称(cheng)干式机(ji)械(xie)泵）是指泵(beng)在正(zheng)常(chang)压力(li)下可启(qi)动抽气，可(ke)将吸(xi)入(ru)的(de)气(qi)体(ti)直接排入(ru)大气腔(qiang)，泵(beng)腔内(nei)无(wu)油(you)或(huo)其(qi)他(ta)工(gong)作(zuo)介质，压(ya)力等于(yu)或接(jie)近油封真(zhen)空泵(beng)的(de)机械(xie)真(zhen)空泵。

　　截止(zhi)2013年(nian)，真(zhen)空(kong)行业应用的干式真空泵(beng)大(da)部(bu)分(fen)选(xuan)用油、水或别(bie)的(de)高(gao)聚(ju)物(wu)等原(yuan)材料(liao)原(yuan)料做为(wei)泵(beng)的(de)工作(zuo)媒(mei)介(jie)，在泵(beng)内具备生(sheng)产制冷(leng)、密(mi)封(feng)性、润(run)滑(hua)油等多种多(duo)样作用。伴随(sui)着(zhe)科(ke)学(xue)研(yan)究的发展(zhan)趋势(shi)和真空应用(yong)行(xing)业的扩(kuo)张(zhang)，原来的机械装置(zhi)真(zhen)空泵及其排(pai)风(feng)系(xi)统软(ruan)件(jian)有二种(zhong)急(ji)需解决的难(nan)题(ti)：一是泵(beng)的(de)工(gong)作(zuo)媒(mei)介(jie)反(fan)流(liu)，污染被抽容器(qi)，而(er)这类(lei)反(fan)流在许(xu)多状(zhuang)况下，会(hui)危(wei)害商(shang)品(pin)的品质和总(zong)数，提(ti)升机器设备的(de)维护保养成本(ben)费。次之(zhi)，真空(kong)泵(beng)中(zhong)的(de)媒(mei)介因为一(yi)些(xie)全(quan)过(guo)程中的反(fan)应物(wu)而比(bi)较(jiao)严(yan)重(zhong)变(bian)质，使(shi)泵(beng)没法(fa)正常(chang)工(gong)作。

　　对(dui)于一般(ban)的(de)无油真空(kong)系(xi)统(tong)来(lai)说，不能(neng)完全(quan)解(jie)决问题，使系(xi)统(tong)变(bian)得(de)复(fu)杂，尽(jin)管(guan)油封真(zhen)空(kong)泵(beng)和(he)冷(leng)却(que)陷(xian)阱或吸附陷(xian)阱等(deng)附(fu)件(jian)可以(yi)用(yong)来(lai)防(fang)止(zhi)回(hui)流。使用适(shi)当类(lei)型的(de)干式真(zhen)空泵可以(yi)达(da)到预期(qi)的效果(guo)。

　　干(gan)式真空泵(beng)应用(yong)广泛(fan)，主要(yao)表(biao)现(xian)在以下几个方(fang)面：

　　1、多晶硅制(zhi)备工艺的(de)低(di)压(ya)化(hua)学气相(xiang)沉(chen)积(ji)；

　　2、半(ban)导体蚀刻工(gong)艺(yi)。干(gan)式(shi)真空(kong)泵(beng)或(huo)产生腐蚀(shi)性(xing)气(qi)体和磨(mo)料颗(ke)粒常(chang)用于(yu)这(zhe)些(xie)生(sheng)产(chan)过程(cheng)；

　　3、半(ban)导(dao)体工艺之外的(de)一(yi)些会产(chan)生颗粒(li)的工(gong)艺(yi)，预计颗(ke)粒(li)不(bu)会混入(ru)干(gan)式真(zhen)空(kong)泵(beng)的泵(beng)油中，有(you)望排(pai)出(chu)泵(beng)内颗(ke)粒(li)，部(bu)分干式机械(xie)真空(kong)泵(beng)可以满(man)足要求(qiu)；

　　4、干(gan)式(shi)真空泵应用于化(hua)工、医药、食品等(deng)行(xing)业的(de)蒸馏(liu)、干(gan)燥、脱气、包装(zhuang)、医药(yao)、食品等(deng)行(xing)业(ye)的(de)蒸(zheng)馏、干燥(zao)、脱(tuo)气；

　　5、一(yi)般无(wu)油洁净真(zhen)空系(xi)统使(shi)用(yong)干(gan)式真(zhen)空泵，防止油(you)污(wu)。

　　干式(shi)真空泵(beng)分(fen)为(wei)许多(duo)不(bu)同类(lei)型的(de)设(she)备(bei)，以满(man)足不同的使用要(yao)求。在(zai)各个方(fang)面，下面将介(jie)绍如何正(zheng)确(que)选择(ze)它(ta)们(men)。

　　干式(shi)真(zhen)空泵(beng)，我(wo)们(men)总渴望能(neng)够(gou)减(jian)小其(qi)物(wu)理(li)尺(chi)寸(cun)。但(dan)这(zhe)与真空泵的抽(chou)吸(xi)速(su)度相矛(mao)盾，干(gan)式真(zhen)空泵的抽(chou)吸速度(du)与(yu)容(rong)积(ji)是成(cheng)正(zheng)比的。物(wu)理尺(chi)寸小(xiao)，就意味(wei)着(zhe)容(rong)积也(ye)小，当(dang)然影响(xiang)干式(shi)真(zhen)空泵抽吸(xi)速度(du)的还有一个(ge)重要因(yin)素(su)就是(shi)速(su)度(du)。要(yao)想让(rang)小型真(zhen)空(kong)泵的(de)抽(chou)吸(xi)速(su)度(du)与(yu)大(da)型真空泵(beng)的抽吸速(su)度相(xiang)匹配，就(jiu)需(xu)要提升(sheng)速度。改变干(gan)式真(zhen)空(kong)泵转速(su)的(de)方法有两种(zhong)，一(yi)种(zhong)是改(gai)动电源的(de)频(pin)率(lv)，也就(jiu)是(shi)用(yong)变(bian)频(pin)器；另(ling)一(yi)种(zhong)是(shi)改(gai)变变速器(qi)的传动(dong)比(bi)。其中(zhong)，用变频器(qi)的(de)好处是可(ke)以(yi)提供(gong)闭(bi)环(huan)控制(zhi)，但在重负荷时(shi)很容(rong)易(yi)造成(cheng)转矩(ju)损失。改变(bian)变速器的传动(dong)比是(shi)一(yi)种(zhong)很经济(ji)的(de)方(fang)法(fa)，当然(ran)只(zhi)能提(ti)供单(dan)速(su)，不(bu)能(neng)控(kong)制(zhi)。

　　干式真(zhen)空(kong)泵(beng)的错误会降(jiang)低(di)机器(qi)效率(lv)，影(ying)响(xiang)晶(jing)圆生产(chan)和(he)交付，乃(nai)至(zhi)会造成(cheng)晶圆废(fei)弃物和(he)别(bie)的(de)零部(bu)件(jian)的加(jia)工(gong)损坏(huai)。因(yin)为螺(luo)杆设计(ji)选用(yong)单(dan)级设(she)计，所(suo)应(ying)用的(de)零(ling)部(bu)件数与滚珠槽、爪(zhao)形、组(zu)合(he)等(deng)多(duo)级(ji)泵(beng)对比可(ke)降(jiang)低(di)60%。这针(zhen)对干式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)平稳性(xing)和(he)将(jiang)来的维护保(bao)养费(fei)用而言是(shi)挺(ting)大(da)的优(you)点(dian)。

　　一般(ban)来说，内(nei)压(ya)螺丝干(gan)式真空(kong)泵的选择可(ke)能是一(yi)个很好的选(xuan)择，如(ru)果用户(hu)觉得(de)功(gong)耗(hao)对(dui)他(ta)来(lai)说(shuo)很(hen)重要，氮(dan)含(han)量对(dui)他来(lai)说(shuo)也(ye)不(bu)重要。但总的来(lai)说(shuo)，对(dui)废气处理(li)的(de)要求越(yue)来(lai)越(yue)严格，以(yi)后减(jian)少氮(dan)的使(shi)用尤(you)为重(zhong)要。如(ru)果你想(xiang)处理(li)各种半(ban)导体(ti)工(gong)艺而不(bu)使(shi)用(yong)简单(dan)的库存(cun)控制泵来改(gai)变(bian)它(ta)们，外(wai)压(ya)缩螺丝(si)干(gan)式(shi)真空泵是一个(ge)不错的(de)选择(ze)。

　　结(jie)合以上(shang)所(suo)有设计(ji)类型(xing)的(de)优势是(shi)理(li)想(xiang)的(de)，具(ju)体(ti)要(yao)看(kan)具(ju)体(ti)情(qing)况(kuang)，但(dan)目(mu)前(qian)还(hai)是不(bu)可(ke)能(neng)的。所以(yi)用(yong)户需(xu)要了解干式真空泵的(de)设计(ji)类型(xing)，再根(gen)据(ju)自(zi)己的工(gong)艺特(te)点了(le)解(jie)不同(tong)类(lei)型泵(beng)设(she)计的效(xiao)果(guo)。这(zhe)样(yang)的选择可以降(jiang)低干式(shi)真空泵的使用(yong)成(cheng)本(ben)，获(huo)得更长的使(shi)用(yong)寿命(ming)和(he)稳(wen)定(ding)的(de)真(zhen)空(kong)系(xi)统。