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根据(ju)不同的(de)应用(yong)需(xu)求(qiu),如何确定(ding)干式真(zhen)空(kong)泵(beng)的合(he)适(shi)型号(hao)和(he)规格(ge)?时间(jian):2024-12-11 在众(zhong)多工业领域(yu)中,干式真(zhen)空泵(beng)都发(fa)挥着至(zhi)关重(zhong)要的(de)作(zuo)用,然而(er),由于不(bu)同(tong)的(de)应用场景(jing)有着各(ge)异的(de)需求,准确(que)地(di)确(que)定干(gan)式(shi)真空(kong)泵的合(he)适型(xing)号(hao)和规(gui)格成为(wei)了一项关键(jian)任务(wu)。 首先,必须(xu)深(shen)入分(fen)析(xi)应(ying)用(yong)工(gong)艺对(dui)真(zhen)空度的要求。在(zai)一些高(gao)精度(du)的半(ban)导体(ti)制造(zao)工(gong)艺中(zhong),例(li)如(ru)芯片光(guang)刻、薄(bao)膜沉积等环节(jie),往往(wang)需要(yao)极高的(de)真空(kong)度(du),可(ke)能(neng)要求干式真空泵(beng)能够达(da)到(dao) 10⁻⁶ 托(tuo)甚(shen)至更低的极限(xian)真空(kong)度。而(er)在普通的食品(pin)包(bao)装(zhuang)行(xing)业(ye),对(dui)真空(kong)度的(de)要求相对(dui)较(jiao)低,一般(ban)在 10⁻1 托(tuo)至 10⁻3 托之间就能(neng)满足包(bao)装(zhuang)内(nei)抽真空(kong)以(yi)延(yan)长(zhang)食(shi)品保(bao)质期的需(xu)求(qiu)。因此,明确(que)工艺(yi)所需(xu)的(de)真空(kong)度(du)范(fan)围是选(xuan)择(ze)合(he)适(shi)型(xing)号规(gui)格的首要(yao)步(bu)骤,只有确(que)保真(zhen)空(kong)泵能(neng)够(gou)达到并维持该(gai)真(zhen)空度(du),才能保(bao)证工(gong)艺的(de)顺利进行(xing)。 其(qi)次,抽(chou)气(qi)速率也是不容忽视的重要参(can)数。在化(hua)工(gong)生(sheng)产中(zhong)的真(zhen)空蒸馏(liu)过程,如果处(chu)理的物料(liao)量(liang)较大且蒸发速(su)率较(jiao)快(kuai),就需要(yao)干(gan)式真空泵(beng)具(ju)备较高(gao)的(de)抽(chou)气速(su)率,以(yi)迅速(su)将产生(sheng)的(de)气(qi)体抽(chou)出,维(wei)持蒸馏系(xi)统内的真空环(huan)境(jing),提(ti)高(gao)生产(chan)效率。相反(fan),在(zai)一些实(shi)验(yan)室的(de)小型真空(kong)实(shi)验(yan)装(zhuang)置(zhi)中(zhong),物料(liao)量(liang)少,对(dui)抽(chou)气(qi)速率(lv)的(de)要求(qiu)就(jiu)相对较低(di)。通常以(yi)升(sheng) / 秒(L/s)或立(li)方(fang)米 / 小(xiao)时(shi)(m3/h)来(lai)衡量抽(chou)气(qi)速(su)率,根(gen)据(ju)具(ju)体(ti)应(ying)用中气(qi)体产(chan)生的速度(du)和总(zong)量估算(suan)出合适的抽(chou)气速率范(fan)围(wei),从而筛选(xuan)出符合(he)要求的真空(kong)泵(beng)型号。 再者(zhe),所(suo)处理(li)气体(ti)的种类和性(xing)质(zhi)对真(zhen)空泵的选(xuan)型有(you)着(zhe)决定性影响。如果(guo)工艺(yi)中(zhong)涉(she)及到腐(fu)蚀(shi)性气(qi)体(ti),如在某些(xie)化(hua)工合成反(fan)应(ying)中会(hui)产生(sheng)氯(lv)气(qi)、氯(lv)化氢等酸性(xing)气(qi)体,那么(me)就必须(xu)选(xuan)择具有良(liang)好(hao)耐(nai)腐蚀(shi)性能的(de)干(gan)式(shi)真(zhen)空泵(beng),其内部的(de)泵(beng)腔(qiang)、转(zhuan)子(zi)、密封件等部件(jian)应(ying)采(cai)用(yong)耐(nai)腐(fu)蚀(shi)性材(cai)料(liao)制(zhi)造(zao),如(ru)不(bu)锈钢(gang)、特(te)殊(shu)合(he)金或(huo)经(jing)过防腐(fu)处理的(de)材料(liao)。对于(yu)含(han)有(you)粉尘颗粒(li)的(de)气体,例如在一些金属加工(gong)行业的真空吸(xi)尘(chen)系(xi)统(tong)中,需(xu)要真(zhen)空(kong)泵能够(gou)有(you)效(xiao)处(chu)理粉尘(chen)而不(bu)被堵(du)塞(sai),此时(shi)应考虑具(ju)有高(gao)效(xiao)过滤系统或(huo)能够(gou)适应(ying)粉(fen)尘工况(kuang)的泵型(xing),以防止(zhi)粉(fen)尘对(dui)泵内(nei)部结构造(zao)成损(sun)害,影响(xiang)泵(beng)的性(xing)能和使(shi)用(yong)寿(shou)命(ming)。 另(ling)外,应用(yong)场(chang)景(jing)的(de)工作环境(jing)条(tiao)件也需要(yao)纳(na)入考量(liang)范围(wei)。在高(gao)温(wen)环(huan)境下(xia)的工(gong)业炉真空系统(tong),要(yao)求(qiu)干(gan)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)能(neng)够(gou)耐(nai)受(shou)高(gao)温,其电机(ji)、轴承(cheng)等(deng)部(bu)件需要具备(bei)良(liang)好(hao)的(de)耐(nai)高(gao)温性能(neng),同(tong)时泵(beng)体的(de)散(san)热设(she)计也至关(guan)重要(yao)。而在湿度较大(da)的环(huan)境中,如一(yi)些(xie)潮湿(shi)的化工生(sheng)产车间,要确保真空(kong)泵的(de)电(dian)气(qi)绝缘(yuan)性(xing)能良好(hao),防止因潮湿导致短路(lu)等(deng)故(gu)障。空(kong)间(jian)布局(ju)方(fang)面(mian),如(ru)果(guo)安(an)装(zhuang)场(chang)地(di)有限,那么(me)就需(xu)要选择体(ti)积(ji)较小、结构(gou)紧凑的干(gan)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)型号,并且要考虑(lv)泵的(de)进(jin)出口连(lian)接方式是(shi)否(fou)方便与(yu)现有(you)管道(dao)系(xi)统对接(jie)。 最后(hou),成(cheng)本因(yin)素(su)也是(shi)企(qi)业在(zai)选型时必(bi)须权衡(heng)的。不同(tong)型(xing)号(hao)规(gui)格的(de)干式(shi)真空泵在采(cai)购(gou)成(cheng)本(ben)、运(yun)行(xing)成本(包括能耗(hao)、维护(hu)费用(yong)等(deng))方面存(cun)在差(cha)异。对于大(da)规模(mo)生(sheng)产且长期(qi)运行(xing)的(de)企(qi)业(ye)来说,虽然(ran)初期(qi)采购(gou)成(cheng)本(ben)较高,但(dan)运(yun)行成本低、性能稳定(ding)的(de)真空泵可能(neng)在(zai)长(zhang)期来看更(geng)具经济(ji)性。而对于一(yi)些(xie)小型(xing)企业或短(duan)期项目(mu),可(ke)能会更倾向(xiang)于选(xuan)择价格相(xiang)对较低(di)的(de)泵型(xing),但(dan)也要(yao)确(que)保(bao)其能满(man)足(zu)基(ji)本的(de)应用需求。 |