干式真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)非(fei)常(chang)广泛，五种形(xing)式都(dou)与它有(you)一(yi)定的(de)关(guan)系(xi)，不(bu)知道你们(men)对这五(wu)种(zhong)形(xing)式了解多(duo)少(shao)，不了(le)解也没关系，本文(wen)就介绍这(zhe)五(wu)种形(xing)式的(de)知识给大(da)家。

　　一、双圆(yuan)裂(lie)片式。

　　双圆(yuan)裂(lie)片式(shi)多(duo)级结构使气(qi)路结构(gou)更加(jia)复(fu)杂，每(mei)一(yi)级(ji)都需要(yao)流量较大(da)的氮作为稀释(shi)和隔离(li)剂(ji)。与此同(tong)时(shi)，为了(le)获(huo)得良(liang)好(hao)的(de)真(zhen)空(kong)度(du)，对各(ge)个级别的间隙要(yao)求都很(hen)严格(ge)。这(zhe)一设计当然(ran)是(shi)因(yin)为增加(jia)了内部(bu)压(ya)缩(suo)比(bi)，所(suo)以(yi)能(neng)耗(hao)相(xiang)对(dui)较(jiao)低(di)。

　　二、三片圆(yuan)裂片(pian)式(shi)。

　　三圆(yuan)裂(lie)片(pian)式(shi)设计(ji)与(yu)上(shang)述形式设(she)计的(de)原(yuan)理相(xiang)同(tong)，只(zhi)是(shi)将气(qi)体(ti)分成(cheng)三(san)份，只需旋(xuan)转(zhuan)一(yi)圈，而(er)不(bu)像(xiang)双(shuang)圆(yuan)裂片式(shi)分成(cheng)两份(fen)。为进(jin)一步降(jiang)低电(dian)力消耗(hao)，在传动(dong)部分(fen)有些(xie)厂家(jia)选择(ze)了(le)两(liang)台直流(liu)电(dian)机(ji)，但(dan)是(shi)这(zhe)也(ye)会(hui)导(dao)致转(zhuan)矩(ju)降低，重(zhong)启(qi)能力(li)下(xia)降(jiang)。

　　三、组(zu)合(he)形(xing)式(罗茨+爪子)

　　组(zu)合(he)(罗(luo)茨(ci)+爪子)设计(ji)采用(yong)罗(luo)茨(ci)提(ti)高(gao)低压(ya)抽气效(xiao)率(lv)，而采用(yong)爪子提(ti)高高压抽(chou)气(qi)效率。原(yuan)理(li)和气路(lu)与前面介绍的(de)圆裂片设计(ji)相同。又(you)有一些厂家把(ba)它的(de)最(zui)后(hou)一级改(gai)为了(le)星型(xing)设计，这(zhe)样可(ke)以(yi)在(zai)一圈旋(xuan)转中把气体(ti)分成五(wu)份(fen)，就(jiu)像(xiang)三圆(yuan)片的(de)设计(ji)可以(yi)把它(ta)分(fen)成三(san)份。

　　四(si)、外(wai)部压(ya)缩(suo)型(xing)螺杆式(shi)

　　外接压缩(suo)式(shi)螺(luo)纹设(she)计，采(cai)用一(yi)对(dui)等(deng)间(jian)距螺纹(wen)。这(zhe)样可(ke)以(yi)将内部压缩降至最(zui)低，同时使气(qi)体(ti)的路(lu)径最(zui)短(duan)，也(ye)最简单。通(tong)过(guo)这(zhe)种方式(shi)，气(qi)体在(zai)泵内停(ting)留(liu)时间(jian)也最(zui)短。这(zhe)种设计(ji)在复(fu)杂的半导体(ti)工(gong)艺中(zhong)显示(shi)了很好(hao)的稳(wen)定性(xing)。

　　五(wu)、内部(bu)压缩(suo)型螺(luo)杆(gan)式

　　不(bu)断(duan)减(jian)少螺(luo)杆之间的体(ti)积使螺(luo)杆内部(bu)产(chan)生(sheng)压缩。许(xu)多生产过(guo)程中，这种内(nei)部压(ya)缩(suo)类似于多(duo)级(ji)泵，很(hen)容易(yi)导致气(qi)体(ti)在(zai)泵(beng)内发生(sheng)物(wu)理(li)和(he)化学变化，从而产(chan)生(sheng)固化或(huo)液(ye)化。

　　在以(yi)上(shang)介(jie)绍(shao)中(zhong)，我(wo)们了(le)解了(le)干式(shi)真空泵(beng)的(de)五种形式，在以(yi)后(hou)的使用过(guo)程(cheng)中(zhong)，我们(men)可(ke)以根(gen)据(ju)自(zi)己的需要进(jin)行(xing)选(xuan)择。