无油干式(shi)机械真空泵(也(ye)称(cheng)为(wei)干(gan)式机械(xie)泵)是指一(yi)种(zhong)机械真空(kong)泵(beng)，其泵可(ke)以从(cong)大气(qi)压力开(kai)始(shi)泵送(song)空气，并将(jiang)泵(beng)送(song)的(de)空(kong)气(qi)直(zhi)接(jie)排放到(dao)大(da)气(qi)中。泵腔内无油(you)或其(qi)他工(gong)作(zuo)介质(zhi)，泵(beng)的(de)极(ji)限(xian)压力(li)与(yu)油封(feng)真(zhen)空(kong)泵相(xiang)同(tong)或(huo)接近(jin)。

目前(qian)真(zhen)空(kong)行(xing)业使用(yong)的(de)机(ji)械(xie)真(zhen)空泵大多采用(yong)油、水或其他聚合(he)物作为泵(beng)的工作(zuo)介(jie)质，具有(you)冷却、、密(mi)封(feng)、、润滑等(deng)多种功(gong)能。随着科(ke)学(xue)技术的(de)发展和真(zhen)空应(ying)用领(ling)域(yu)的(de)扩(kuo)大(da)，原机(ji)械真空泵(beng)及其抽真(zhen)空系(xi)统(tong)存(cun)在(zai)两个(ge)需(xu)要解(jie)决(jue)的(de)问题:一(yi)是泵(beng)的工作介(jie)质(zhi)回(hui)流污(wu)染抽吸(xi)容(rong)器(qi)，往往(wang)影(ying)响产品质(zhi)量(liang)，增(zeng)加设备(bei)维护成本(ben)。其次，真空(kong)泵中(zhong)的(de)介(jie)质由于(yu)一些(xie)工(gong)艺过(guo)程中(zhong)的(de)反应物(wu)质而严重变质，使(shi)泵(beng)无(wu)法正常工(gong)作。

对(dui)于常见的(de)无(wu)油真空(kong)系(xi)统(tong)，虽(sui)然(ran)可(ke)以(yi)使(shi)用(yong)油封真空(kong)泵和冷阱(jing)或吸(xi)附阱等(deng)附件来(lai)防(fang)止(zhi)回流，但不(bu)能(neng)完全解决(jue)问题(ti)，系(xi)统复杂(za)。采用不(bu)同类(lei)型(xing)的干(gan)式机械真空泵，可(ke)取得(de)理想(xiang)的应用(yong)效(xiao)果(guo)。

干(gan)机(ji)械(xie)真(zhen)空(kong)泵的(de)应用(yong)十(shi)分广(guang)泛，主(zhu)要(yao)有(you)以下(xia)几点(dian)。

（1) 除(chu)了半导体技(ji)术(shu)，产(chan)生颗粒的技术不(bu)想(xiang)把(ba)颗(ke)粒(li)混入泵(beng)油中(zhong)，而(er)是想把(ba)颗粒(li)排出泵，一定型号的干式(shi)机(ji)械(xie)真空泵可(ke)以满足要(yao)求(qiu)。

（2)半导(dao)体(ti)蚀(shi)刻技术(shu)。在这些(xie)生产(chan)技术(shu)中，经(jing)常(chang)使(shi)用(yong)或(huo)生(sheng)成腐蚀性(xing)气(qi)体(ti)和(he)研(yan)磨粒(li)子。

（3)低压(ya)化(hua)学(xue)气(qi)相(xiang)沉积多(duo)晶(jing)硅制备技(ji)术(shu)。

（4)用作一般(ban)无(wu)油清洁(jie)真空系(xi)统的前级(ji)泵，防(fang)止油污(wu)。

（5) 化学，医药(yao)，食品工业蒸(zheng)馏(liu)，干燥(zao)，脱(tuo)泡，包装(zhuang)等，防止有机(ji)溶(rong)剂(ji)污染(ran)，适用(yong)于(yu)干(gan)式真(zhen)空(kong)泵。