根(gen)据(ju)基(ji)本原理(li)干式(shi)真空(kong)泵(beng)可(ke)分为两(liang)类(lei)：一(yi)类是(shi)体(ti)积式(shi)真(zhen)空(kong)泵，如爪式泵、罗(luo)茨(ci)泵(beng)、螺杆(gan)泵(beng)、往复式活(huo)塞(sai)式干(gan)泵、隔(ge)膜(mo)泵(beng)、涡(wo)旋泵(beng)等(deng)。

　　不(bu)同(tong)类(lei)型的(de)真空泵有不(bu)同的性能(neng)参数(shu)和(he)适(shi)用场合。例如，无(wu)油隔(ge)膜(mo)泵主要用于实(shi)验室。

　　石(shi)化装(zhuang)置干式真空(kong)泵主(zhu)要是爪(zhao)式(shi)真空泵(beng)和(he)螺(luo)杆式真空泵(beng)。此外(wai)，由(you)于罗(luo)茨泵在低压下的(de)时候(hou)压缩较高(gao)，通常(chang)作为爪式真空(kong)泵的(de)前(qian)泵(beng)形成(cheng)罗茨(ci)爪式真(zhen)空(kong)泵(beng)，与纯爪式(shi)真(zhen)空泵相(xiang)比(bi)，可(ke)有效(xiao)提(ti)高(gao)低压(ya)下(xia)的(de)真(zhen)空泵速率。

　　在半导体(ti)产品(pin)的制造过程(cheng)中(zhong)，所(suo)需(xu)要的(de)真(zhen)空(kong)系(xi)统需要具有去(qu)除腐(fu)蚀性(xing)气体、粉(fen)尘颗粒(li)物(wu)、有毒(du)气(qi)体(ti)等这些功能(neng)。因此，油(you)封(feng)机(ji)械泵(beng)不能(neng)满(man)足(zu)半导(dao)体行(xing)业(ye)的(de)需要。在(zai)半导(dao)体(ti)行业(ye)的(de)驱动下，干式(shi)真空(kong)泵(beng)出(chu)现于(yu)20世(shi)纪80年(nian)代。由(you)于目前下游(you)集成电(dian)路(lu)、光(guang)伏(fu)、LED等(deng)这些(xie)行业的可(ke)持(chi)续发(fa)展和(he)进步，干(gan)式真(zhen)空泵(beng)的(de)产品类型也(ye)不(bu)断(duan)增加(jia)，性能(neng)、控制(zhi)集成度(du)等指标(biao)参数也(ye)有比(bi)较明(ming)显的(de)提高(gao)。截(jie)至(zhi)目前(qian)，干(gan)式真(zhen)空(kong)泵(beng)已用(yong)于(yu)发(fa)达(da)国家的半导体相关行(xing)业。近年来，我国(guo)也出(chu)现(xian)了(le)干式真(zhen)空(kong)泵(beng)取代油泵(beng)的明显(xian)趋(qu)势。干(gan)式(shi)真空(kong)泵(beng)已(yi)基本(ben)用于(yu)国内高(gao)端半导体行业(ye)。

　　干式(shi)真空泵工(gong)作时，无(wu)摩(mo)擦，运行(xing)平(ping)稳，噪音低，工(gong)作室无润(run)滑(hua)油(you)。因(yin)此(ci)，干(gan)式真(zhen)空泵(beng)可以去除(chu)大量(liang)的(de)水蒸(zheng)气和少(shao)量的灰(hui)尘。由于螺(luo)杆形成了(le)螺距(ju)结(jie)构(gou)，与(yu)等(deng)螺距结构(gou)相(xiang)比，极限(xian)真空更(geng)高(gao)，功(gong)耗更低，具有节(jie)能、免维护(hu)等优点(dian)。是(shi)油(you)封(feng)真(zhen)空泵的(de)更(geng)新(xin)产品。

　　除(chu)了半导体行业之外，制药、化工(gong)、食(shi)品(pin)行业(ye)对真(zhen)空泵(beng)的需求量也(ye)是(shi)比(bi)较(jiao)大的(de)，在过(guo)去(qu)的时(shi)候(hou)很(hen)多(duo)行(xing)业使用油封(feng)机械(xie)泵会产(chan)生(sheng)油污(wu)染。近年(nian)来，国(guo)家高度重(zhong)视环(huan)境保(bao)护，因(yin)为(wei)使(shi)用干式(shi)真(zhen)空泵(beng)可(ke)以在工(gong)作(zuo)中减(jian)少(shao)油污染(ran)，而(er)且使(shi)用(yong)干式真(zhen)空(kong)泵还(hai)可(ke)以(yi)实(shi)现(xian)溶(rong)解(jie)媒(mei)体(ti)的(de)回(hui)收，提(ti)高(gao)利(li)用率，因此(ci)制(zhi)药(yao)、化工、食品(pin)等行业(ye)，用(yong)干(gan)式(shi)真空(kong)泵(beng)来取(qu)代原油封机(ji)械(xie)泵(beng)，这(zhe)些行(xing)业对干(gan)式(shi)真空泵(beng)有(you)大(da)量新的(de)需(xu)求。

　　干式真空泵(beng)是(shi)未(wei)来行(xing)业(ye)发(fa)展的(de)趋势。虽然(ran)目前(qian)使用不多(duo)，但除了(le)价(jia)格(ge)高之外(wai)，用户对(dui)干式真空(kong)泵了(le)解(jie)不够，看(kan)不(bu)到未(wei)来(lai)给企(qi)业(ye)带(dai)来(lai)的经(jing)济效益(yi)。然(ran)而(er)，干式(shi)真空泵(beng)使(shi)工(gong)作容(rong)量(liang)无油，带来了很多(duo)好(hao)处。

　　以(yi)上是淄博沃(wo)德气体设备有(you)限公司小编整(zheng)理(li)的(de)干式(shi)真(zhen)空泵的(de)工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)与目前(qian)的市场(chang)前(qian)景的相关内容(rong)，希(xi)望对您有(you)所(suo)帮助(zhu)，淄(zi)博沃德(de)期待您的(de)来(lai)电与合作。