干(gan)式真(zhen)空泵(beng)主(zhu)要(yao)在半导(dao)体工业(ye)、化学(xue)工业(ye)、薄膜(mo)工业已应用(yong)于(yu)发(fa)展。国外干(gan)式(shi)真空(kong)泵(beng)市(shi)场正处(chu)于(yu)蓬勃(bo)发(fa)展的阶(jie)段(duan)。例(li)如，在日(ri)本，半(ban)导体行业已(yi)经(jing)使用干(gan)式(shi)真空泵(beng)代(dai)替(ti)油(you)封(feng)机械(xie)泵，而(er)欧洲(zhou)和(he)美(mei)国超过(guo)45%的(de)半导体(ti)行业(ye)使用干式真(zhen)空泵(beng)代(dai)替(ti)油(you)封机(ji)械(xie)泵(beng)，这(zhe)比较(jiao)大的提高(gao)了(le)产(chan)品(pin)的(de)性(xing)能(neng)和质(zhi)量(liang)。过去(qu)，半(ban)导体行业的(de)油(you)封机(ji)械(xie)泵(beng)使(shi)用惰性(xing)氟(fu)油润滑，以防(fang)止(zhi)腐蚀性气体(ti)侵蚀(shi)油，但氟(fu)油非常昂(ang)贵(gui)，维(wei)护成本(ben)也(ye)很高。因(yin)此，干式(shi)真空泵(beng)逐(zhu)渐的在(zai)各(ge)行(xing)各业中发(fa)展(zhan)起来(lai)。

　　采(cai)用(yong)干(gan)式真(zhen)空泵，泵内不(bu)仅无润(run)滑油(you)，而(er)且(qie)无(wu)废液(ye)处(chu)理问题。但泵腔(qiang)内无油，使(shi)泵腔(qiang)内间隙无法(fa)保持(chi)密(mi)封(feng)，也(ye)失(shi)去了温度(du)控(kong)制的(de)传(chuan)热介质(zhi)，对(dui)干式(shi)真(zhen)空泵带(dai)来了巨(ju)大(da)挑(tiao)战(zhan)。部分真(zhen)空(kong)泵由两台(tai)电(dian)机(ji)同(tong)步(bu)驱动(dong)，确保泵运(yun)行(xing)时无(wu)部件接触(chu)，无(wu)密(mi)封设(she)计(ji)，确(que)保(bao)无(wu)泄(xie)漏(lou)，满(man)足新(xin)的ATEX防(fang)爆规定(ding)的(de)要(yao)求(qiu)。由于(yu)能(neng)保持最(zui)小(xiao)的(de)内(nei)部(bu)温度，可(ke)控制(zhi)泵(beng)气(qi)体的冷凝和(he)腐(fu)蚀可能造成的损(sun)坏效应，易(yi)于输(shu)送腐(fu)蚀(shi)介(jie)质，安全输(shu)送易燃易(yi)爆(bao)气体。

　　干式真空泵在(zai)半导体(ti)行业(ye)的成(cheng)功(gong)应(ying)用也(ye)鼓(gu)励(li)干(gan)泵制(zhi)造(zao)商将干(gan)泵引入(ru)化(hua)工行业(ye)。虽然(ran)干(gan)泵(beng)价(jia)格昂(ang)贵，但运(yun)行成本较(jiao)低(di)，特别是(shi)无废液(ye)处(chu)理问(wen)题(ti)，对环境(jing)和(he)健(jian)康非(fei)常(chang)有(you)益。目前(qian)，有许(xu)多(duo)类(lei)型(xing)的干泵(beng)，包(bao)括(kuo)涡旋(xuan)泵、隔(ge)膜泵、干旋(xuan)片泵(beng)、罗茨(ci)干泵、爪干泵(beng)和螺(luo)杆真(zhen)空泵(beng)。罗茨(ci)干泵、爪干泵和(he)螺杆真空(kong)泵在(zai)化(hua)工(gong)行业的应用中占主导(dao)地位(wei)。

　　在(zai)制药行业(ye)的溶(rong)剂回(hui)收(shou)中，由(you)罗(luo)茨泵(beng)和(he)螺(luo)杆真(zhen)空(kong)泵组(zu)成的(de)干(gan)燥真空(kong)系统可以(yi)在排气(qi)侧冷凝(ning)干燥(zao)过程(cheng)中(zhong)的有(you)机(ji)溶剂，实现(xian)溶(rong)剂的(de)回收。由(you)于(yu)干式真(zhen)空泵腔(qiang)内没(mei)有其(qi)他(ta)工艺介(jie)质(zhi)，节(jie)能(neng)环(huan)保(bao)，无废(fei)液(ye)处(chu)理问题，溶剂可全部回(hui)收。因此，干式真空(kong)泵(beng)已成(cheng)为(wei)该应用领域(yu)的(de)较佳(jia)选择。

　　在石(shi)化行业(ye)汽油蒸汽(qi)回(hui)收(shou)方(fang)面(mian)，干式真(zhen)空(kong)泵(beng)是(shi)汽(qi)油蒸汽(qi)回(hui)收(shou)装(zhuang)置中的(de)关(guan)键(jian)设(she)备(bei)。抽(chou)气(qi)为(wei)挥(hui)发(fa)性汽油蒸汽(qi)，主要(yao)成(cheng)分为(wei)C4.C5.C6等(deng)汽(qi)油蒸汽(qi)。油(you)气回收(shou)装置采(cai)用(yong)活性(xing)吸附(fu)，实现油气中(zhong)烃(ting)类(lei)成分(fen)与空(kong)气的(de)分(fen)离(li)，达到排(pai)放标准(zhun)。活(huo)性(xing)炭的(de)再生(sheng)是(shi)通(tong)过(guo)真空解吸来(lai)实现(xian)的(de)，以达到回(hui)收利(li)用(yong)的目的(de)。真空(kong)油(you)气通过汽(qi)油(you)喷(pen)雾吸收(shou)将油气(qi)转化(hua)为(wei)汽(qi)油(you)并(bing)回收(shou)利(li)用(yong)。

　　随着我国(guo)对环(huan)境保(bao)护的(de)日益(yi)重(zhong)视，国家或(huo)行(xing)业(ye)制定了各种法律、标(biao)准(zhun)和规(gui)定(ding)，严格(ge)限制(zhi)汽(qi)油和(he)蒸(zheng)汽的(de)排(pai)放(fang)，要求(qiu)储(chu)油库和加(jia)油(you)站必(bi)须(xu)增(zeng)加(jia)油气(qi)回收装置(zhi)，并(bing)符合(he)排(pai)放浓(nong)度为(wei)25g/m3、油气(qi)处理(li)效率为95%的标准。

　　因(yin)此(ci)，干式真(zhen)空泵在各行(xing)各业的(de)发(fa)展(zhan)前(qian)景(jing)非常长远(yuan)。以(yi)上(shang)就是(shi)淄博沃德(de)气(qi)体(ti)设(she)备(bei)有限公(gong)司小(xiao)编(bian)整(zheng)理的(de)干式(shi)真(zhen)空(kong)泵的(de)工作(zuo)原理(li)与目(mu)前(qian)的(de)市(shi)场前(qian)景的(de)相(xiang)关内(nei)容(rong)，希(xi)望(wang)对您(nin)有(you)所(suo)帮助，淄博(bo)沃德(de)期待您的来(lai)电与(yu)合作(zuo)。